【市场营销】smee光刻机-smee光刻机多少纳米
SMEE光刻机——SMEE光刻机多少纳米 1. SMEE光刻机的概述 SMEE光刻机是一种高精度、高分辨率的微纳加工设备,主要用于制造集成电路、光学元件、MEMS等微纳结构。SMEE光刻机的核心是光学系统和控制系统,通过控制光源、光刻胶和掩模板的运动,实现对样品表面进行精细加工。 2. SMEE光刻机的工作原理 SMEE光刻机的工作原理是利用紫外线光源照射光刻胶,使其发生化学反应,形成图案。掩模板上的图案通过光学系统投射到光刻胶表面,形成微米甚至纳米级别的结构。SMEE光刻机的分辨率取决于光学