文章 本文将对极紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography，EUV）技术进行详细阐述。介绍了EUV技术的原理和优势。接着，从光源、掩膜、光刻机、光刻胶、控制系统和应用领域等六个方面对EUV技术进行了深入探讨。总结了EUV技术的发展前景和对未来的影响。 1. 极紫外光刻技术的原理和优势 极紫外光刻技术是一种先进的半导体制造技术，其原理是利用极紫外光（EUV）的短波长特性进行光刻。相比传统的光刻技术，EUV技术具有更高的分辨率、更小的线宽和更高的制程能力。EUV技术还

副线和跨线是道路交通中常见的术语。虽然它们都是指道路上的线条，但它们的含义和作用有所不同。本文将详细介绍副线和跨线的区别和联系。 1. 副线的定义和作用 副线是指一种用于指示车辆行驶方向的虚线或实线。在道路上，副线通常被用来指示车辆行驶的方向，例如在双向道路上，中央分隔带上的副线用于区分车道和指示车辆行驶方向。副线还可以用于指示车辆在某些路段上需要让路给其他车辆。 2. 副线的类型 副线分为实线和虚线两种。实线副线通常用于指示车辆在某些路段上需要让路给其他车辆，而虚线副线则用于区分车道和指示车